中科行智3D飛點分光干涉儀，推動偏光片薄膜溝槽深度檢測發展！

　　液晶屏能夠顯示各種信息給人類，是現代電子技術、人工智能的重要基礎單位，是人機交互的重要通道，具有十分重要的價值。液晶屏中最新的是源矩陣有機發光二級面板顯示屏(amoled)，因其特性受到了業界的廣泛關注，其中偏光片是它的重要組成部分。偏光片分別由保護膜、三醋酸纖維素膜(TAC)、聚乙烯醇膜(PVA)、離型膜和壓敏膠等結構層組成。在生產過程中，將原材料的膜通過拉伸、擴大等制作工藝，最終使偏光片整體透光效果均勻，從而為amoled的均勻發光效果提供保障。

　　偏光片是一種常見的偏振光學元件，應用非常廣泛，在薄膜電晶體液體顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)型液晶顯示面板中，必有兩層偏振方向正交的偏光片。偏光片成品一般由 6 層微米級厚度的透明聚合物薄膜組成，其外觀缺陷可能出現在任何一層。一旦出現凸凹點、異物、氣泡、劃痕等外觀缺陷會直接降低顯示面板的質量等級，甚至導致整個面板報廢，因此偏光片外觀缺陷檢測就變得尤為重要。

　　1、案例需求：薄膜溝槽深度測量

　　2、解決方案：

　　采用3D飛點分光干涉儀系列，采集薄膜劃痕狹縫數據，用GIVS 3D進行檢測。

　　3、樣品特點

　　多層透明薄膜、溝槽橫向寬度窄

　　4、測量條件

　　掃描點數：100×400

　　掃描范圍：0.3×1.2(mm)

　　5、軟件工具

　　平面校正、點云轉深度圖、高度測量等。

　　6、檢測方案

　　(1)點云數據采集;

　　(2)進行點云數據校正，將點云轉成深度圖;

　　(3)選擇測量區域，進行高度測量。

　　3D飛點分光干涉儀 是專業用于超高精度、鏡面高反光及透明材質的納米級測量儀。采用譜域白光干涉原理，實現300nm Z向絕對精度、30nm Z向重復精度，掃描幀率70kHz，最大直徑80mm，可適用于測量強反射、弱反射及透明物體等多種物體，分光模塊與光學振鏡模塊分離設計，加入光學振鏡掃描可替代昂貴的高精密位移臺。

　　產品可廣泛應用于半導體晶圓、金線、BGA、AR鏡片、精密接插件等亞微米級別的3D測量。

3D飛點分光干涉儀

　　蘇州中科行智智能科技有限公司是由中科蘇州機器視覺技術研究院孵化的一家高科技企業。初創人員均來自于國內知名科研機構的中青年科學家、基礎技術研究人員、知名IT企業高層管理人員和技術骨干，在前沿技術研究、技術產業化、企業管理和運營等方面積累了豐富的經驗。

　　公司重點在工業機器視覺、在線實時三維重建、高精度視覺測量和大數據智能分析技術等方向上開展平臺級、應用級的軟硬件產品開發，重點突破行業技術難點。著眼于工業機器視覺、智能制造、大數據醫療、云計算、人工智能產業的蓬勃發展趨勢以及長三角產業轉型升級、平臺建設、成果轉化及產業化等一系列工作，為中國高端智能制造提供基礎技術平臺和軟硬件一體化解決方案。